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超高真空鍍膜設備

簡要描述:超高真空鍍膜設備系統專業制備約瑟夫森結制備,可精確生長所需的金屬層和氧化絕緣層,確保高性能制備及高成品率。

  • 產品型號:QBT-J
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-05-08
  • 訪  問  量:1279

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詳細介紹

一、核心參數:  

價格區間:200萬-300萬  

儀器種類:電子束蒸發鍍膜機  

產地類別:國產  

應用領域:微電子學  

基片尺寸:4寸(可定制)  

靶材:AL  

基片溫度范圍:RT-900oC  

成膜厚度均勻性:均一性<3%  

極限真空:<1E-9Torr  


二、約瑟夫森結超高壓系統:  

超高真空鍍膜設備專業制備約瑟夫森結制備,可精確生長所需的金屬層和氧化絕緣層,確保高性能制備及高成品率;此鍍膜儀有進樣室、氬離子清洗室、電子束蒸發室以及氧化室,共計四個高真空腔室,腔室間使用傳樣桿進行高真空傳樣,傳遞模組須采用抓取式設計;設備所有工藝均支持4英寸及以內的晶圓或不規則樣品。設備整個工藝過程,可以按照用戶設置的參數自動化運行,工藝流程包括并不限于:抽真空,監測氣壓,離子清洗,樣品位置調節、傳樣,加熱,電子束蒸發特定厚度設置,自動調整氣壓等。  


三、廈門韞茂科技有限公司為您提供超高真空鍍膜設備QBT-J的參數、價格、型號、原理等信息,QBT-J產地為福建、品牌為韞茂,型號為QBT-J,價格為200萬-300萬RMB,更多相關信息可咨詢,公司客服電話7*24小時為您服務。  


四、售后服務:  

保修期:1年  

是否可延長保修期:否  

現場技術咨詢:有  

免費培訓:1.設備出廠前,提供至少2人一周的設備原廠培訓。2.設備在現場完成安裝調試  

免費儀器保養:有需要可安排

保內維修承諾:保修期內(除天災和人為損害外)部件、元件費用、出差費用均由我司承擔

報修承諾:質保期內出現故障時我司將及時響應,并在8小時內派技術人員到現場解決故障


五、技術參數:

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