超高真空鍍膜設備

一、核心參數：  

價(jià)格區間：200萬(wàn)-300萬(wàn)  

儀器種類(lèi)：電子束蒸發(fā)鍍膜機  

產(chǎn)地類(lèi)別：國產(chǎn)  

應用領(lǐng)域：微電子學(xué)  

基片尺寸：4寸（可定制）  

靶材：AL  

基片溫度范圍：RT-900oC  

成膜厚度均勻性：均一性<3%  

極限真空：<1E-9Torr  

二、約瑟夫森結超高壓系統：  

超高真空鍍膜設備專(zhuān)業(yè)制備約瑟夫森結制備，可精確生長(cháng)所需的金屬層和氧化絕緣層，確保高性能制備及高成品率；此鍍膜儀有進(jìn)樣室、氬離子清洗室、電子束蒸發(fā)室以及氧化室，共計四個(gè)高真空腔室，腔室間使用傳樣桿進(jìn)行高真空傳樣，傳遞模組須采用抓取式設計；設備所有工藝均支持4英寸及以?xún)鹊木A或不規則樣品。設備整個(gè)工藝過(guò)程，可以按照用戶(hù)設置的參數自動(dòng)化運行，工藝流程包括并不限于：抽真空，監測氣壓，離子清洗，樣品位置調節、傳樣，加熱，電子束蒸發(fā)特定厚度設置，自動(dòng)調整氣壓等。  

三、廈門(mén)韞茂科技有限公司為您提供超高真空鍍膜設備QBT-J的參數、價(jià)格、型號、原理等信息，QBT-J產(chǎn)地為福建、品牌為韞茂，型號為QBT-J，價(jià)格為200萬(wàn)-300萬(wàn)RMB，更多相關(guān)信息可咨詢(xún)，公司客服電話(huà)7*24小時(shí)為您服務(wù)。  

四、售后服務(wù)：  

保修期：1年  

是否可延長(cháng)保修期：否  

現場(chǎng)技術(shù)咨詢(xún)：有  

免費培訓：1.設備出廠(chǎng)前，提供至少2人一周的設備原廠(chǎng)培訓。2.設備在現場(chǎng)完成安裝調試  

免費儀器保養：有需要可安排

保內維修承諾：保修期內（除天災和人為損害外）部件、元件費用、出差費用均由我司承擔

報修承諾：質(zhì)保期內出現故障時(shí)我司將及時(shí)響應，并在8小時(shí)內派技術(shù)人員到現場(chǎng)解決故障

五、技術(shù)參數：