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                      當前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  半導體行業(yè)專(zhuān)用儀器  >  PALD廠(chǎng)家  >  Mini Desktop ALDPALD廠(chǎng)家

                      PALD廠(chǎng)家

                      簡(jiǎn)要描述:桌面式原子層沉積系統PALD廠(chǎng)家(Atomic layer deposition)是通過(guò)將氣相前驅體脈沖交替地通入反應腔體內并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應而形成沉積膜的一種技術(shù),具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無(wú)針孔、高保形的納米薄膜。

                      • 產(chǎn)品型號:Mini Desktop ALD
                      • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
                      • 更新時(shí)間:2024-05-08
                      • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:922

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                      詳細介紹

                      一、核心參數:  

                      價(jià)格區間:10萬(wàn)-50萬(wàn)  

                      產(chǎn)地類(lèi)別:國產(chǎn)原子層沉積系統(ALD)  

                      襯底尺寸:4寸  

                      工藝溫度:RT-300℃  

                      前驅體數:4組液態(tài)或固態(tài)前驅體  

                      重量:40KG  

                      尺寸(WxHxD):500*400*400mm  

                      均勻性:99.9%  


                      二、原子層沉積(Atomiclayerdeposition)是通過(guò)將氣相前驅體脈沖交替地通入反應腔體內并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應而形成沉積膜的一種技術(shù),具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無(wú)針孔、高保形的納米薄膜。  


                      三、桌面式原子層沉積系統PALD廠(chǎng)家產(chǎn)品描述:  

                      廈門(mén)韞茂科技公司研發(fā)的超小型桌式ALD原子層沉積設備是*材料研究的有力設備之一,它可以在4寸晶元(向下兼容)和微納米粉體上實(shí)現均勻可控的原子層沉積,具有廣泛的應用領(lǐng)域,設各配有獨立控制的300℃完整加熱反應腔室系統,保證工藝溫度均勻,該系統具有粉末樣品桶、晶元載盤(pán),全自動(dòng)溫控制、ALD前驅體源鋼瓶、自動(dòng)溫度控制閥、工業(yè)級安全控制,以及現場(chǎng)RGA、QCM、臭氧發(fā)生器、手套箱等設計選項,是*能源材料、催化劑材料、新型納米材料研究與應用的最佳研發(fā)工具  


                      四、廈門(mén)韞茂科技有限公司為您提供桌面式原子層沉積系統PALD廠(chǎng)家的參數、價(jià)格、型號、原理等信息,產(chǎn)地為福建、品牌為韞茂,型號為MiniDesktopALD,價(jià)格為50萬(wàn)RMB,更多相關(guān)信息可咨詢(xún),公司客服電話(huà)7*24小時(shí)為您服務(wù)。  


                      五、售后服務(wù):  

                      保修期:1年  

                      是否可延長(cháng)保修期:否  

                      現場(chǎng)技術(shù)咨詢(xún):有  

                      免費培訓:1.設備出廠(chǎng)前,提供至少2人一周的設備原廠(chǎng)培訓。2.設備在現場(chǎng)完成安裝調試  

                      免費儀器保養:有需要可安排  

                      保內維修承諾:保修期內(除天災和人為損害外)部件、元件費用、出差費用均由我司承擔

                      報修承諾:質(zhì)保期內出現故障時(shí)我司將及時(shí)響應,并在8小時(shí)內派技術(shù)人員到現場(chǎng)解決故障  


                      六、技術(shù)參數:

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