全國服務(wù)咨詢(xún)熱線(xiàn):
        
                      18396591470
                      
      
                      
    
                      
  
                      
  
                      
    
  
                      
   

                      
 




                      
 



  



                       
  
                      當前位置：首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  半導體行業(yè)專(zhuān)用儀器  >  ALD  >  QBT-A雙腔體高真空等離子體原子層沉積系統 
     
    
                      

                      
 



                       
  
  
                      
    
                      
      
                      
      
                      
        
                       
          
                        
                      
        
                      
       
                      
        
                      
          
                      
            
                        
              
              
                      • 
                
                        
              
                        • 
              
            
                      
          
                      
        
                      
      
                      
       
       
       
    
                      
    
                      
      
                      雙腔體高真空等離子體原子層沉積系統
                      
      
                      
        
                      簡(jiǎn)要描述：雙腔室高真空等離子體ALD設備是對ALD技術(shù)的擴展，通過(guò)等離子體的引入，產(chǎn)生大量活性自由基，增強了前驅體物質(zhì)的反應活性，從而拓展了ALD對前驅源的選擇范圍和應用要求，縮短了反應周期的時(shí)間，同時(shí)也降低了對樣品沉積溫度的要求，可以實(shí)現低溫甚至常溫沉積，特別適合于對溫度敏感材料和柔性材料上的薄膜沉積。
                      
      
                      
      
                        
        
                      • 產(chǎn)品型號：QBT-A
                        • 
        
                      • 廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
                        • 
        
                      • 更新時(shí)間：2024-05-08
                        • 
        
                      • 訪(fǎng)  問(wèn)  量：2479
                        • 
      
                      
      
    
                      
    
                      
  
                      
  
  
  
                      
    
                      
      
      
      
      
                      
        
                      
          
                      相關(guān)文章
                      
          RELATED ARTICLES
                      
        
                      
          
                        
            
          
                      
        
                      
      
                      
       
    
                      
    
                      
      
                      
        
                      詳細介紹
                      
      
                      
      
                           一、雙腔室高真空等離子體ALD設備核心參數：

                          價(jià)格區間：100萬(wàn)-200萬(wàn)

                          產(chǎn)地類(lèi)別：國產(chǎn)原子層沉積系統（ALD）

                          襯底尺寸：Ф200mm

                          工藝溫度：RT-500±1ºC

                          前驅體數：最大可包括3組等離子體反應氣體4組液態(tài)或固態(tài)反應前驅體

                          重量：300KG

                          尺寸(WxHxD)：1400*1000*1900mm

                          均勻性：均一性<1%

                          二、雙腔室高真空等離子體ALD設備應用原理分析：

                          原子層沉積（Atomiclayerdeposition)是通過(guò)將氣相前驅體脈沖交替地通入反應腔體內并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應而形成沉積膜的一種技術(shù)，具有自限性和自飽和。原子層沉積技術(shù)主要應用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無(wú)針孔、高保形的納米薄膜。

                          等離子體增強原子層沉積(PlasmaEnhancedAtomicLayerDeposition，PEALD)是對ALD技術(shù)的擴展，通過(guò)等離子體的引入，產(chǎn)生大量活性自由基，增強了前驅體物質(zhì)的反應活性，從而拓展了ALD對前驅源的選擇范圍和應用要求，縮短了反應周期的時(shí)間，同時(shí)也降低了對樣品沉積溫度的要求，可以實(shí)現低溫甚至常溫沉積，特別適合于對溫度敏感材料和柔性材料上的薄膜沉積。

                          三、廈門(mén)韞茂科技有限公司為您提供參數、價(jià)格、型號、原理等信息，產(chǎn)地為福建、品牌為韞茂，型號為QBT-A，價(jià)格為100萬(wàn)-200萬(wàn)RMB，更多相關(guān)信息可咨詢(xún)，公司客服電話(huà)7*24小時(shí)為您服務(wù)。

                          四、主要技術(shù)參數：
                      2.png
                        五、測試結果展示：
                      3.png

                       
                      
      
                      
        
                      產(chǎn)品咨詢(xún)
                      
      
                      
      
                       



                      

                      
	
                      留言框  
                      
	
                        
		
                      • 
			
                        產(chǎn)品：
                        
			
                        
		
                        • 
		
                      • 
			
                        您的單位：
                        
			
                        
		
                        • 
		
                      • 
			
                        您的姓名：
                        
			
                        
		
                        • 
		
                      • 
			
                        聯(lián)系電話(huà)：
                        
			
                        
		
                        • 
		
                      • 
			
                        常用郵箱：
                        
			
                        
		
                        • 
        
                      • 
			
                        省份：
                        
			
                        
		
                        • 
		
                      • 
			
                        詳細地址：
                        
			
                        
		
                        • 
		
        
                      • 
			
                        補充說(shuō)明：
                        
			
                        
		
                        • 
		
                      • 
			
                        驗證碼：
                        
			
                        
            	
                        
                    
                    
                
                        
                請輸入計算結果（填寫(xiě)阿拉伯數字），如：三加四=7
            
                        
		
                        • 
		
                      • 
			
                        
			
                        
		
                        • 
	
                      	
    

                      

                      
 
                      
      
    
                      
    
                      
  
                      

                      

 



                      
  
                      
    
                      
      
      
                      
        
        
                      
          
                      電子郵箱：su.zhipeng@ym-qbt.com
                      
          
                      公司地址：廈門(mén)市集美區集美北大道1068-6號安仁產(chǎn)業(yè)園
                      
        
                      
        
                      
          
                      業(yè)務(wù)咨詢(xún)微信
                      
        
                      
      
                      
    
                      
  
                      
  
                      
    
  
                      

                      
 



                       
     

                      





 
  


内衣办公室OVA樱花动漫_国产激情怍爱视频在线观看_日韩淫色不卡视频在线_YYY6080韩国三级理论