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                      全自動(dòng)四腔超高真空雙傾角鍍膜系統

                      簡(jiǎn)要描述:全自動(dòng)四腔超高真空雙傾角鍍膜系統專(zhuān)專(zhuān)業(yè)制備約瑟夫森結制備,可精確生長(cháng)所需的金屬層和氧化絕緣層,確保高性能制備及高成品率。

                      • 產(chǎn)品型號:QBT-J
                      • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
                      • 更新時(shí)間:2024-05-08
                      • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:803

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                      一、核心參數:  

                      價(jià)格區間:200萬(wàn)-300萬(wàn)  

                      儀器種類(lèi):電子束蒸發(fā)鍍膜機  

                      產(chǎn)地類(lèi)別:國產(chǎn)  

                      應用領(lǐng)域:微電子學(xué)  

                      基片尺寸:4寸(可定制)  

                      靶材:AL  

                      基片溫度范圍:RT-900oC  

                      成膜厚度均勻性:均一性<3%  

                      極限真空:<1E-9Torr  


                      二、約瑟夫森結超高壓系統:  

                      全自動(dòng)四腔超高真空雙傾角鍍膜系統專(zhuān)專(zhuān)業(yè)制備約瑟夫森結制備,可精確生長(cháng)所需的金屬層和氧化絕緣層,確保高性能制備及高成品率;此鍍膜儀有進(jìn)樣室、氬離子清洗室、電子束蒸發(fā)室以及氧化室,共計四個(gè)高真空腔室,腔室間使用傳樣桿進(jìn)行高真空傳樣,傳遞模組須采用抓取式設計;設備所有工藝均支持4英寸及以?xún)鹊木A或不規則樣品。設備整個(gè)工藝過(guò)程,可以按照用戶(hù)設置的參數自動(dòng)化運行,工藝流程包括并不限于:抽真空,監測氣壓,離子清洗,樣品位置調節、傳樣,加熱,電子束蒸發(fā)特定厚度設置,自動(dòng)調整氣壓等。  


                      三、廈門(mén)韞茂科技有限公司為您提供全自動(dòng)四腔超高真空雙傾角鍍膜系統QBT-J的參數、價(jià)格、型號、原理等信息,QBT-J產(chǎn)地為福建、品牌為韞茂,型號為QBT-J,價(jià)格為200萬(wàn)-300萬(wàn)RMB,更多相關(guān)信息可咨詢(xún),公司客服電話(huà)7*24小時(shí)為您服務(wù)。  


                      四、售后服務(wù):  

                      保修期:1年  

                      是否可延長(cháng)保修期:否  

                      現場(chǎng)技術(shù)咨詢(xún):有  

                      免費培訓:1.設備出廠(chǎng)前,提供至少2人一周的設備原廠(chǎng)培訓。2.設備在現場(chǎng)完成安裝調試  

                      免費儀器保養:有需要可安排

                      保內維修承諾:保修期內(除天災和人為損害外)部件、元件費用、出差費用均由我司承擔

                      報修承諾:質(zhì)保期內出現故障時(shí)我司將及時(shí)響應,并在8小時(shí)內派技術(shù)人員到現場(chǎng)解決故障


                      五、技術(shù)參數:

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